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阴极(jí)发光(guāng)是一种光谱分(fèn)析方(fāng)法,通(tōng)过电子束(shù)轰击材料产生发光后,用来在局部范(fàn)围内(nèi)鉴别材料中的(de)点缺陷和杂质缺陷,应用于微(wēi)电子(zǐ),半导体材料,绝缘体,地质(zhì)学和矿(kuàng)物(wù)学等领域。
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